半導(dǎo)體行業(yè)水環(huán)真空泵系統(tǒng)應(yīng)用案例
半導(dǎo)體行業(yè)的真空應(yīng)用工藝：
1、半導(dǎo)體行業(yè)中的蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測(cè)試設(shè)備，機(jī)械手，自動(dòng)化真空清掃等鍵合工序里所需用真空為生產(chǎn)真空（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部分還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。
2、工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運(yùn)或夾持，清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送，此類應(yīng)用中液環(huán)真空泵和多級(jí)離心風(fēng)機(jī)是非常關(guān)鍵的生產(chǎn)輔助設(shè)備。
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半導(dǎo)體真空系統(tǒng)應(yīng)用要求及案例：
1、應(yīng)用要求——半導(dǎo)體行業(yè)的工藝特性，要求真空系統(tǒng)絕對(duì)無(wú)油，對(duì)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高。
2、應(yīng)用案例——湖南某電氣公司擁有半導(dǎo)體生產(chǎn)線，形成從設(shè)計(jì)、制造、封裝與測(cè)試等全套能力，電氣汽車組件配套建設(shè)項(xiàng)目，選用了2套康斯頓2BV水環(huán)真空系統(tǒng)，（水環(huán)真空泵安全可靠，100%無(wú)油，完全滿足半導(dǎo)體行業(yè)的工藝真空要求），目前設(shè)備安裝調(diào)試完畢，機(jī)組運(yùn)行穩(wěn)定。
該項(xiàng)目全部產(chǎn)能將用于新能源汽車用基材及組件生產(chǎn)，恒才機(jī)電康斯頓真空泵系統(tǒng)的應(yīng)用，整體提升了電氣功率半導(dǎo)體工藝平臺(tái)及生產(chǎn)制造能力，真空泵系統(tǒng)/真空泵工藝可滿足新能源汽車領(lǐng)域巨大市場(chǎng)需求，進(jìn)一步做大做強(qiáng)做優(yōu)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
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